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  • 恒歌高純不銹鋼接頭真空限流VCR墊片過濾器

    墊圈式設(shè)計確保易于安裝,使其成為 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。

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    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    產(chǎn)地:深圳市
  • 恒歌超純氣流微粒工藝一體式過濾器

    工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計,靈活適應(yīng)各類安裝空間。

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  • 恒歌半導(dǎo)體工藝氣體IGS面板專用過濾器

    IGS面板氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計,過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

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  • 恒歌3納米氣體擴散不銹鋼316L過濾器

    擴散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計,靈活適應(yīng)各類安裝空間。

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  • 恒歌真空支架KF16 50微米不銹鋼過濾濾片

    墊圈式設(shè)計確保易于安裝,使其成為 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。

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  • 恒歌使用點專用氣體過濾器

    用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅固耐用,緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級

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